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非接触式吸盘-CKD精密吸盘 PVP Series

非接触式吸盘-CKD精密吸盘 PVP Series

精密吸盘 PVP Series

不损伤工件、 超洁净&高精密吸附

吸附面采用氟树脂烧结多孔材质的精密吸盘PVP系列。

即使是极薄材料及柔软材质,也不会损伤工件,并能消除因吸附导致的歪斜及变形。

可完成各种高精度工件处理。

用途示例

  • 光盘、磁盘的搬送、粘贴等
  • 液晶玻璃、薄膜基板的粘贴、搬送等
  • 晶圆旋转、抛光、搬送等
  • 除上述吸附用途外,还接单生产上浮用途产品

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规格
PVP-R-86-18

PVP-C-50


PVP-S-50-50
PVP-R-85-27
PVP-R-118-18
PVP-C-75
PVP-C-100
PVP-C-113
PVP-C-138
PVP-S-100-100
PVP-C-187

PVP-S-150-150
PVP-S-200-850
产 品吸附面 μm(注)平面度234
平行度51015
基准面平面度 μm101010
空气泄漏量 2/min(ANR)0.40.61
真空差压 kPa(注2)40以上
使用加压力 MPa0.2以下(清洁空气)
环境温度 ℃5~40
环境湿度 %RH(注3)65以下
多孔材质部位材质三氟聚氯乙烯树脂
气孔率 %40±5
肖氏D硬度 度60±15
底板部位材质耐腐蚀铝合金
表面处理 (注4)
1:该精度是在23℃恒温室中放置24小时后的测量值。 在非23℃的环境中精度将发生变化,可能偏离规格值。
测量方法规定,在无负载状态下将产品置于平台上测量其直线度(2个方向以上),取其最大值。
虽然不是原本的平面度测量方法,但因为多孔材质表面存在凹痕,所以采用了该测量方法。
2:表示通过整个多孔材质面真空吸附工件时的真空源压力下降值。
注3:在超过65%RH的湿度环境中,可能导致吸附面精度变化,偏离规格值。
注4:本产品的本体材质为耐腐蚀铝合金未淬火材质。 需要指定表面处理(钝化处理、无电解镀镍等)时,接单生产处理对应。
吸附面积·重量表
吸附面积(cm2)重量(g)
PVP-R-36-18880
PVP-R-85-2751290
PVP-R-118-18107520
PVP-C-5020140
PVP-C-7544250
PVP-C-10079390
PVP-C-113100490
PVP-C-138149680
PVP-C-1872751,170
PVP-S-50-5025160
PVP-S-100-100100490
PVP-S-150-150225980
PVP-S-200-2505002,030

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